層疊型壓電陶瓷及其制造方法、壓電元件和壓電振動裝置與流程

背景技術：

關于壓電陶瓷，利用由壓電陶瓷形成的壓電元件通過機械性位移而產生電荷、或者通過電極間的電位差而產生機械性位移的性質，被廣泛地用于傳感器、致動器等中。

作為構成壓電元件的壓電陶瓷的組成，廣泛使用鈦酸鋯酸鉛(pb(zr,ti)o3、pzt)及其固溶體。pzt類的壓電陶瓷具有以下優點：由于具有較高的居里溫度，因此即使在高溫環境下也能夠使用，并且由于具有較高的機電耦合系數，因此能夠對電能與機械能高效地進行轉換。另外，通過選擇適當的組成，能夠以低于1000℃的溫度進行燒制，因此具有能夠降低壓電元件的制造成本的優點。尤其是，在層疊型壓電陶瓷中，與壓電陶瓷同時燒制的內部電極中能夠使用減少了鉑或鈀等高價格材料的含量的低熔點材料，產生大幅降低成本的效果。但是，pzt類的壓電陶瓷含有作為有害物質的鉛，這被視為問題，希望使用不含鉛的壓電陶瓷代替pzt類的壓電陶瓷。

至今為止，作為不含鉛的壓電陶瓷的組成，公開有堿金屬鈮酸鹽((li,na,k)nbo3)類、鈦酸鉍鈉((bi0.5na0.5)tio3、bnt)類、鉍層狀化合物類和鎢青銅類等各種壓電陶瓷。其中，堿金屬鈮酸鹽類的壓電陶瓷由于其居里溫度高，機電耦合系數比較大，因此作為代替pzt類的壓電陶瓷而受到關注.

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